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KS-S150
星型全自动涂胶显影机

KS-S150星型全自动涂胶显影机用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及先进封装的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆,产品涉及多个应用领域,涂胶机产能大于155片/小时。设备通过了CSA认证。
产品优势:
  • 1.占地小、稳定性高、操作与维护方便

    2.产能高,涂胶机产能大于155片/小时

    3.光刻胶用量小,4寸用量0.6ml

    4.优异的流场设计,涂胶均匀性好

应用领域:

●传感器芯片制造

●光通信芯片制造

●功率芯片制造

●LED芯片制造

●图形化衬底制造

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